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产品用途|MCU智能控制 • 高纯气体超微流量控制
产品型号RA101型
产品名称六氟化硫气体泄漏标准发生装置
量程A(0.02~2)mL/min SF₆
量程B(0.2~20)mL/min SF₆
响应时间≤1s
预热时间≤2min
产品参数及尺寸
参数名称
参数值
量 程 A
(0.02~2)mL/min SF₆
量 程 B
(0.2~20)mL/min SF₆
量程A准确度
±0.01mL/min(＜0.7mL/min SF₆)
±0.02mL/min(≥0.7mL/min SF₆)
量程B准确度
±0.1mL/min(＜7mL/min SF₆)
±0.2mL/min(≥7mL/min SF₆)
响应时间
≤1s
预热时间
≤2min
稳 定 性
零点漂移(仪器零点漂移在一年内应不超过±0.6%F.S)
扩 展 性
可根据用户需求实现甲烷、二氧化碳、一氧化碳等其他气体准泄漏源
显 示
5.6英寸液晶显示屏
电 源
220V AC、50Hz
功能特点
MCU智能控制，自动控制，精度高，线性佳；
装置的管路内表面均具有抗腐蚀、低吸附特性，对酸性气体及有毒有害气体均可进行配制；
可实现多种高纯气体超微流量控制；
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